修整晶圆研磨垫的修整器及其制造方法

摘要

本发明提供一种修整晶圆研磨垫的修整器，包含：一基板，在该基板之上表面具有复数个凹槽；固着材料，充填在该复数个凹槽中；以及复数个磨粒，该复数个磨粒被该固着材料固着在该复数个凹槽中。其中该复数个凹槽系依规则性排列，该复数个凹槽之每一个凹槽尺寸仅能容纳一颗磨粒。该复数个凹槽可是碗形或其他形状。本发明也提供此种修整器的制造方法。