在基板中形成掺杂物之方法

摘要

一种藉由在一灰化机室中堆积至少一种掺杂物种及在基板之一暴露部分上形成该堆积掺杂物种以在基板中形成一掺杂物之方法。藉由测试或测量以决定电浆反应室掺杂物种之目标浓度。使用灰化机以在基板上形成掺杂物种，以及将该掺杂物种驱入基板。在该基板上测量一临界电压以验证或确认已完成一适当掺杂位准。