| 摘要 |
一种混合流体供给设备(1)，系在混合流体进一步均一化之混合状态下进行供给，其具备：混合气体配管(4)，具备将副气体供至主气体配管来加以混合；以及混合流体之均一化装置(6)，系设置于该混合气体配管(4)内，此混合流体之均一化装置(6)，具备彼此重叠接触之固定穿孔板(8)以及可动穿孔板(9)、以及用以使可动穿孔板(9)相对固定穿孔板(8)移动于其面内方向之驱动汽缸(11)，于各穿孔板(8，9)形成有复数个贯通孔(10)藉由固定穿孔板(8)之移动，使二穿孔板(8，9)之贯通孔(10)的重叠程度变化，而改变所有贯通孔(10)之开口率。 |
