| 摘要 |
本发明提出一种用于一气体传送系统的反对称最佳控制演算法，该系统包括一流量比控制器用以将单一质量流分送到至少二流线内。每一流线包括一流量计和一阀。该流量比控制器之二阀被反对称最佳控制器透过一比例反馈回路控制，该控制器包括一单进单出SISO控制器、一反相器及二个线性饱和器。该SISO控制器之输出在施用于该等二阀之前被分离并修改。二阀控制命令实质上反对称于最大容许阀流导(valve conductance)位置。因为该等二阀命令被送过以最大容许阀流导位置当作二个饱和极限之一者的个别线性饱和器的事实，净效应是一阀于任何时刻均被保持在最大容许阀流导位置，而另一阀被主动控制以维持流量比。 |
