在晶圆检视系统中照明晶圆表面的装置及其方法

摘要

一种在晶片检查系统中对晶片表面进行照明的装置，包括用于发射第一光束的第一闪光源和用于发射第二光束的第二闪光源、重新定向光学元件以及控制构件，其中闪光源配置成向重新定向光学元件发光，控制构件交替触发闪光源，且重新定向光学元件将两条光束重新定向到晶片的相同射束路径上游中。