配向膜之制造装置、液晶装置及电子机器

摘要

本发明系制造于对向之1对基板间夹持液晶而成之液晶装置之配向膜之制造装置，其具备：成膜室；蒸镀部，其系用以于前述成膜室内，以物理性蒸镀法，于前述基板蒸镀配向膜材料而形成配向膜；遮蔽板，其系形成于前述蒸镀部与前述基板间，具有为选择性地蒸镀配向膜材料之狭缝状开口部，并遮盖前述基板上未形成配向膜之区域；及洗净部，其系朝向前述遮蔽板之前述蒸镀部侧之前述开口部附近，供给用以除去附着于前述遮蔽板之前述配向膜材料之洗净介质。