洗净装置及洗净方法,以及可藉由电脑读取的记忆媒体

摘要

本发明系提供一种洗净装置，系具备有：储存有使用于被处理体的洗净之处理液的洗净槽2；在洗净槽2内保持被处理体W的被处理体保持机构4；及将处理液供给至洗净槽2的处理液供给机构3，于洗净槽2内将被处理体W浸渍于处理液中，一边使处理液从洗净槽2溢流出来，一边洗净被处理体，其系具备有：覆盖洗净槽3之液面的盖10；支持盖10的支持构件支持板15a、15b；及在盖10被支持于支持构件支持板15a、15b的状态下，使盖10追随于液面而移动之追随机构滑动机构14a、14b。