离子束收集器及粒子吸引器

摘要

本发明提供一种用于减轻在离子植入期间的污染之系统、方法、以及装置。本发明提供离子源、终点站、以及设置在离子源与终点站间之质量分析器。其中，离子束系由离子源形成且经由质量分析器而行进至终点站。离子束收集总成包括：粒子收集器、粒子吸引器、以及与质量分析器连接之屏蔽。其中，可操作粒子吸引器之电位，而将污染粒子吸引与限制在粒子收集器中，并且其中可操作此屏蔽，而使粒子吸引器之电位与质量分析器中的离子束之电位屏蔽开。