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发明名称
防护胶膜之剥离方法
摘要
一种防护胶膜之剥离方法,于长边为300mm以上的大型防护胶膜之制造中,能在短时间内且无损伤地将成膜于平滑基板上之防护胶膜剥离。于防护胶膜框架的长边为300mm以上之大型防护胶膜组件之制造中,在使用剥离握柄15将成膜于平滑基板上之防护胶膜12剥离时,由两个以上方向进行剥离。用来剥离防护胶膜的剥离工模之形状可以为多边形。
申请公布号
TW200707561
申请公布日期
2007.02.16
申请号
TW095115043
申请日期
2006.04.27
申请人
信越化学工业股份有限公司
发明人
关原一敏
分类号
H01L21/30(2006.01)
主分类号
H01L21/30(2006.01)
代理机构
代理人
周良谋;周良吉
主权项
地址
日本
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