光阻组成物

摘要

本发明之课题系提供一种光阻组成物，不仅能够提高光阻调制时之溶解性、显影时之光阻膜黏附性的特性，亦能够提升光阻安定性、且具有优良的安全性。本发明之解决手系提供一种光阻组成物，系含有光阻成分及有机溶剂之光阻组成物，其中该有机溶剂系选自由(a1)C3–6链烷二醇、(a2)单烷氧基–C3–6链烷二醇、(b1)C5–6链烷二醇单乙酸酯、(b2)单烷氧基–C3–6链烷二醇单乙酸酯、(c1)C5–6链烷二醇二乙酸酯、及(c2)单烷氧基–C3–6链烷二醇二乙酸酯所组成群组中至少1种之溶剂。