选择性之高介电常数材料之蚀刻剂

摘要

本发明揭示一种用以选择性地移除高介电常数材料之蚀刻剂，其包括至少一种以氟为主之组分、水与至少一种溶剂或溶剂混合物。本文亦说明用以生产一湿式蚀刻化学溶液之方法，其包含提供至少一个以氟为主之组分，提供水，提供至少一种溶剂或溶剂混合物，以及将该以氟为主之组分与水组合成该至少一种溶剂或溶剂混合物以形成该湿式蚀刻化学溶液。