| 摘要 |
本发明之课题是提供紫外线照射装置，在紫外线之照射中，可以容易地监视工件之状态。本发明之解决手段是照射部2对基材24上之照射点照射紫外线。然后，摄影机部20被配置在基材24之垂直上方，对照射点附近进行拍摄。影像处理部16根据接受自摄影机部20之影像信号产生影像，和从所产生之影像中抽出工件之位置，用来计测工件之移动量。控制部4接受由影像处理部16产生之影像和计测到之工件之移动量，将其显示在显示部8上。然后，控制部4判断计测到之工件之移动量是否超过指定之临限值，在超过指定之临限值之情况时，对显示部8或声音输出部18通知超过指定之临限值之信息。 |
