具备薄皮层的光罩及薄皮层

摘要

本发明系提供解除随光罩大尺寸化而将薄皮层(pellicle)大尺寸化时所出现的问题，可达大尺寸化之具备薄皮层的光罩。本发明的具备薄皮层的光罩，系在光罩4表面上所装设的薄皮层1之薄皮层膜3，由具透光性的刚性材料构成，且上述薄皮层膜3尺寸系达表面积4000cm2以上的尺寸。