图案形成装置及图案形成装置之制造方法

摘要

本发明提供一种高精度且低成本之图案形成装置。将(100)面方向之矽单晶作为母材，藉由光蚀刻步骤形成具有斜面部及图案材料引导槽之栉齿部。于形成引导槽之同一步骤中，形成与该栉齿部之各个栉齿共通地储存图案材料之储液部。形成斜面部时，藉由进行湿式非等向性蚀刻，利用面方向之蚀刻速度差，可高精度且容易地生成相对于面方向(100)具有面方向(111)之斜面部，又，藉由非等向性乾式蚀刻形成槽部，藉此可以高精度形成具有到达斜面部之垂直侧壁的图案材料引导槽。