用于控制探针卡组件之热诱发的移动之设备与方法

摘要

一种探针卡组件可包括一探针头组件其具有电性地连接至一接线基板并机械性地装附于一加固板(stiffenerplate)上的探针。该接线基板可提供电气连接至一测试设备，且该加固板可提供将该探针卡组件装附至该测试设备的结构。该加固板具有比该接线基板大之机械强度且与该接线基板相比较不会有热诱发的移动。该接线基板可在其中心位置处被装附至该加固板上。空间可被提供在该接线基板被装附到加固板上的其它位置处，使得该接线基板可相对于该加固板膨胀及接触。