微小构造体之探针卡,微小构造体之检查装置,检查方法以及电脑程式

摘要

本发明提供一种具有可动部之微小构造体用之检查方法，其系不伤及探针或检查用电极，并藉由于探针与检查用电极之接触抑制针压的影响，执行精度高的检查。进行微小构造体之检查时，首先，令一对探针(2)接触各电极垫(PD)后，经由继电器(30)连接一对探针(2)及熔结用电源(50)。接着，由熔结用电源(50)向一对探针(2)对一方的探针(2)施加电压。然后，逐渐昇压，则由于熔结(fritting)现象而破坏一对探针(2)间的氧化膜，电流在一对探针(2)间流动，在探针(2)与电极垫(PD)间电性导通。接着，经由继电器(30)将一对探针(2)由熔结用电源(50)切换至测定部(40)侧，与测定部(40)电性结合。