探针接触器之支柱及尖端设计

摘要

本发明系关于一种微制作尖端与支柱结构，其包括：一支柱，该支柱具有一可扩散入射光的粗糙顶端表面以及一剖面；以及一尖端，其系以微影的方式被电镀(lithographically plated)该支柱的前述粗糙顶端表面之上，该尖端具有一平滑反射表面，适用于自动视觉辨识(automatic vision recognition)且具有一小于该支柱之剖面的剖面。