用于溅镀过程的管状阴极

摘要

本发明系关于一具有标靶载具与标靶的管状阴极。此处所称标靶可以是单零件标靶，也可以是多零件标靶。在标靶载具与标靶之间置有数个年轮状元件，由导热材料沿着标靶载具的纵轴方向摆放。年轮状元件间以窄环使之彼此分隔。标靶于至少一末端面上有一凹处，可使标靶很容易地在独立的年轮状元件上滑动。