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发明名称
供气构件及处理装置
摘要
供气构件包括本体部,在和保持处理对象物的处理构件之间形成将气体供给至处理对象物上的供气路。在本体部形成位于供气路之途中的气体积存部。
申请公布号
TW200706689
申请公布日期
2007.02.16
申请号
TW095108704
申请日期
2006.03.15
申请人
子股份有限公司
发明人
富田泰光;海野豊
分类号
C23C16/458(2006.01);H01L21/00(2006.01)
主分类号
C23C16/458(2006.01)
代理机构
代理人
洪澄文
主权项
地址
日本
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