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发明名称
蒸发器及蒸发薄膜传送液体之方法
摘要
一蒸发器,其包含一用于液体之入口及一用于气体之出口;一气阀,其控制至该蒸发器之出口的气体流动;及机构,其用于加热流动于该液体入口及该气阀间之液体。该蒸发器亦包含机构,其用于对流动于该液体入口及该气阀间之液体增加热传速率,及用于在该液体中造成一压降,以致于抵达该气阀时,该液体之压力下降至低于该液体之一蒸气转移压力。该压降发生在等温之条件下,且该液体系仅只当打开该阀门时在需要时蒸发。用于增加热传速率及用于造成压降之机构可为多小孔介质之一栓塞。
申请公布号
TW200706686
申请公布日期
2007.02.16
申请号
TW095109066
申请日期
2006.03.17
申请人
MKS公司
发明人
梅保罗;夏亚里;史丹尼;克拉克
分类号
C23C16/448(2006.01);B01B1/00(2006.01);C23C16/455(2006.01)
主分类号
C23C16/448(2006.01)
代理机构
代理人
黄庆源;何爱文
主权项
地址
美国
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