发明名称 蒸发器及蒸发薄膜传送液体之方法
摘要 一蒸发器,其包含一用于液体之入口及一用于气体之出口;一气阀,其控制至该蒸发器之出口的气体流动;及机构,其用于加热流动于该液体入口及该气阀间之液体。该蒸发器亦包含机构,其用于对流动于该液体入口及该气阀间之液体增加热传速率,及用于在该液体中造成一压降,以致于抵达该气阀时,该液体之压力下降至低于该液体之一蒸气转移压力。该压降发生在等温之条件下,且该液体系仅只当打开该阀门时在需要时蒸发。用于增加热传速率及用于造成压降之机构可为多小孔介质之一栓塞。
申请公布号 TW200706686 申请公布日期 2007.02.16
申请号 TW095109066 申请日期 2006.03.17
申请人 MKS公司 发明人 梅保罗;夏亚里;史丹尼;克拉克
分类号 C23C16/448(2006.01);B01B1/00(2006.01);C23C16/455(2006.01) 主分类号 C23C16/448(2006.01)
代理机构 代理人 黄庆源;何爱文
主权项
地址 美国