奈米碳管制备装置及制备方法

摘要

本发明涉及一种奈米碳管制备装置及制备方法。该奈米碳管之制备装置包括一反应腔，其改进在于该反应腔内或反应腔外表面设置有一冷却装置。该奈米碳管之制备方法包括以下步骤：提供一上述奈米碳管制备装置，其中该奈米碳管制备装置还包括一基板；于该基板上沈积一催化剂层；加热反应腔至一预定温度以生长奈米碳管；向冷却装置内通入冷却工作物质，冷却反应腔至300℃以下以取出奈米碳管。