| 摘要 |
〔课题〕本发明以处理液回收型的处理液供给装置为物件，例如即使是上、下筐体用疏水性的材料形成、并且基板宽度方向以及基板搬送方向较为长大的装置，也能够有效地防止在基板处理中处理液从筐体间泄漏的情况。〔解决手段〕在设置在上、下筐体(20)、(30)上的上部以及下部喷嘴模组(22)、(32)的各外表面，设置有分别向基板搬送方向突出设置的、并且允许基板(B)通过的上部翼(25)以及下部翼(35)，上、下翼(25)、(35)以它们的相对向面间的距离比上部底板(21)以及下部顶板(34)的相对向面间的距离短的方式设定设置位置。 |
