多扫瞄磁控管

摘要

一种设置成可供磁控管自一长方形标靶(16)溅镀材料至一长方形面板(14)上且包括多个可单独扫描横越该标靶背面之磁控管(140A、140B)的溅镀反应器。在一实施例中，该些磁控管仅能沿着与一轴平行的方向扫描。一系统控制器(150)可控制致动器(142A、142B)，提供机械性移动且控制被输送至该标靶上之与该机械性移动同步之电力量。本发明也包括在该长方形标靶背面一长方形路径中以一磁控管扫描。