探针组件

摘要

一种探针组件，系具备探针基板，其形成有能与各该半导体晶片区域之电气连接部接触之多数探针，俾在大致圆形之半导体晶圆上朝彼此正交之方向排列且连续形成之多数半导体晶片区域进行电气检查。对应既定矩形晶片区域群组(含既定数之半导体晶片区域)，在探针基板面上彼此正交之XY方向，配置复数个探针群组之针头。此探针群组之针头之配置区域，系朝X方向及Y方向之任一方向以不连续方式形成。朝X方向或Y方向之任一方向以与该半导体晶圆相对移送之方式移动，藉此能进行该半导体晶圆上所有晶片区域群组之电气检查。