Vacuum valve and apparatus for fabricating semiconductor employing the same,申请号KR20050074437-传众专利搜索

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发明名称	Vacuum valve and apparatus for fabricating semiconductor employing the same
摘要
申请公布号	KR20070019448(A)	申请公布日期	2007.02.15
申请号	KR20050074437	申请日期	2005.08.12
申请人		发明人
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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