发明名称 MIKROMECHANISCHER ELEKTROSTATISCHER RESONATOR
摘要
申请公布号 AT352900(T) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 AT20040027961T 申请日期 2004.11.25
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 KIHARA, RYUJI;NAKAJIMA, TAKUYA;FURUHATA, MAKOTO
分类号 B81B3/00;B81C1/00;B81C3/00;H02N1/00;H02N2/00;H03H3/007;H03H9/00;H03H9/02;H03H9/10;H03H9/24;(IPC1-7):H03H9/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址