发明名称 |
MIKROMECHANISCHER ELEKTROSTATISCHER RESONATOR |
摘要 |
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申请公布号 |
AT352900(T) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
申请号 |
AT20040027961T |
申请日期 |
2004.11.25 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORPORATION |
发明人 |
KIHARA, RYUJI;NAKAJIMA, TAKUYA;FURUHATA, MAKOTO |
分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;B81C3/00;H02N1/00;H02N2/00;H03H3/007;H03H9/00;H03H9/02;H03H9/10;H03H9/24;(IPC1-7):H03H9/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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