| 摘要 |
<p>Bei einem Metall-Keramik-Substrat mit einem mehrschichtigen, plattenförmigen Keramikmaterial und mit wenigstens einer an einer Oberflächenseite des Keramikmaterials vorgesehenen Metallisierung, die mit dem Keramikmaterial durch Directbonden oder Aktivlöten verbunden ist, besteht das Keramikmaterial aus wenigstens einer inneren Schicht oder Basisschicht aus einer Siliziumnitrid-Keramik. Die mit der wenigstens einen Metallisierung versehene Oberflächenseite des Keramikmaterials wird von einer auf die Basisschicht aufgebrachten Zwischenschicht aus einer oxidischen Keramik gebildet.</p> |
