发明名称 Method of manufacturing silicon wafer
摘要
申请公布号 KR20070019856(A) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 KR20050073808 申请日期 2005.08.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利