| 发明名称 |
Flüssiges Renigungsmittel für Halbleiter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004003988(D1) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
| 申请号 |
DE200460003988T |
申请日期 |
2004.04.06 |
| 申请人 |
KANTO KAGAKU K.K. |
发明人 |
ABE, YUMIKO;ISHIKAWA, NORIO |
| 分类号 |
C11D7/50;C11D7/60;C11D7/26;C11D11/00;C11D17/08;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
C11D7/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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