发明名称 |
VERRINGERUNG DES OFFSETS EINES BESCHLEUNIGUNGSAUFNEHMERS |
摘要 |
Micromachined structures, such as fixed drive or sensing fingers of an inertial sensor, are anchored to a substrate using multiple anchors or elongated anchors in order to reduce the bending or twisting of the micromachined structure about the anchor point. |
申请公布号 |
AT352041(T) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
申请号 |
AT20030765731T |
申请日期 |
2003.07.18 |
申请人 |
ANALOG DEVICES, INC. |
发明人 |
SAMUELS, HOWARD, R.;HOLLOCHER, DAVID, C.;JUDY, MICHAEL;JUNEAU, THOR |
分类号 |
G01P15/02;B81B3/00;G01P15/125;G01P15/18 |
主分类号 |
G01P15/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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