| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zum Einschleusen eines Werkstücks über eine Vorvakuumkammer in eine Hochvakuumkammer und deren Verwendung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10048210(B4) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
| 申请号 |
DE20001048210 |
申请日期 |
2000.09.28 |
| 申请人 |
SINGULUS TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KEMPF, STEFAN;ROTH, GEORG;SICHMANN, EGGO |
| 分类号 |
B01J3/00;C23C14/56;C23C16/54 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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