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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE AND PLASMA GENERATING METHOD
摘要
申请公布号 KR100682096(B1) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 KR20047014161 申请日期 2003.03.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/26 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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