发明名称 VERFAHREN ZUR LATERALEN ISOLATION EINER AKTIVEN REGION EINES MOS TRANSISTORS
摘要
申请公布号 DE69737186(D1) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 DE19976037186 申请日期 1997.06.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 DELEONIBUS, SIMON
分类号 H01L21/316;H01L21/762;H01L29/786 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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