发明名称 |
VERFAHREN ZUR LATERALEN ISOLATION EINER AKTIVEN REGION EINES MOS TRANSISTORS |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE69737186(D1) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
申请号 |
DE19976037186 |
申请日期 |
1997.06.26 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DELEONIBUS, SIMON |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/762;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|