| 发明名称 |
Anordnung und Verfahren zur Herstellung von vertikalen Transistorzellen und transistorgesteuerten Speicherzellen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10306281(B4) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
| 申请号 |
DE20031006281 |
申请日期 |
2003.02.14 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
SCHLOESSER, TILL;MANGER, DIRK;GOEBEL, BERND |
| 分类号 |
H01L27/105;H01L21/8239;H01L21/8242;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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