| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69934680(D1) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
| 申请号 |
DE19996034680 |
申请日期 |
1999.03.23 |
| 申请人 |
TOKYO UNIVERSITY OF AGRICULTURE AND TECHNOLOGY, FUCHU |
发明人 |
UENO, TOMO |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/316;B01J19/08;C23C16/24;C23C16/40;C23C16/452;C23C16/50;C23C16/511;C23C26/00;H01L21/314;H01L21/318 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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