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经营范围
发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Elementen
摘要
申请公布号
DE112005000666(T5)
申请公布日期
2007.02.15
申请号
DE200511000666
申请日期
2005.03.24
申请人
E2V TECHNOLOGIES (UK) LTD.
发明人
FOULGER, ROBERT JAMES;BUTLER, RICHARD MICHAEL
分类号
H01L21/00;H01L21/326;H01L21/78;H01L47/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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