VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER HAFTENDEN SUBSTRATOBERFLÄCHE,申请号AT20020292517T-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER HAFTENDEN SUBSTRATOBERFLÄCHE
摘要
申请公布号	AT353475(T)	申请公布日期	2007.02.15
申请号	AT20020292517T	申请日期	2002.10.11
申请人	S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A.	发明人	MALEVILLE, CHRISTOPHE;MAUNAND-TUSSOT, CORINNE
分类号	H01L21/306;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/18;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/306
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