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发明名称 Verfahren und Anlage zur Herstellung beschichteter Werkstücke
摘要
申请公布号 DE59813873(D1) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 DE1998513873 申请日期 1998.05.27
申请人 OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH 发明人 RAMM, JUERGEN;VON KAENEL, HANS;ROSENBLAD, CARSTEN
分类号 C23C16/50;C23C16/503;C23C16/505;C23C16/511;C30B25/02;C30B25/10;C30B29/52;H01J37/32;H01L21/205 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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