| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat (10), einer seismischen Masse (1) und wenigstens einem Federelement (2). Dabei ist die seismische Masse (1) mittels des Federelements (2) mit dem Substrat (10) verbunden. Die seismische Masse ist (1) wenigstens in einer ersten Richtung auslenkbar, vermittels einer transversalen Auslenkung des Federelements (2) in der ersten Richtung. Zur Begrenzung der Auslenkung ist an dem Substrat (10) wenigstens ein erster Anschlag (3) vorgesehen. An der seismischen Masse (1) ist wenigstens ein zweiter Anschlag (5, 6) vorgesehen, welcher derart angeordnet ist, dass die Auslenkbarkeit der seismischen Masse (1) in der ersten Richtung durch das Anschlagen der beiden Anschläge (3; 5, 6) aneinander begrenzt ist.</p> |
