发明名称 Anordnung zur hermetischen Abdichtung von Bauelementen und Verfahren zu deren Herstellung
摘要 Verfahren zur Herstellung eines Packages. Das Verfahren beinhaltet das Bereitstellen eines Substrats, wobei auf einer Oberfläche des Substrats ein oder mehrere Bauelemente angeordnet sind, das Ausbilden einer hermetisch abdichtenden Schutzschicht auf dem ein oder den mehreren Bauelementen und auf der Oberfläche des Substrats, wobei die hermetisch abdichtende Schutzschicht die folgenden Eigenschaften aufweist: gasundurchlässig, flüssigkeitsundurchlässig, undurchlässig für elektromagnetische Wellen, temperaturbeständig, elektrisch isolierend und prozessbeständig.
申请公布号 DE102005037869(A1) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 DE20051037869 申请日期 2005.08.10
申请人 SIEMENS AG 发明人 KASPAR, MICHAEL;SCHWARZBAUER, HERBERT;WEIDNER, KARL
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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