| 发明名称 | 含氮氟化物气体的净化剂及净化方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供含有氮氟化物的气体的净化剂及净化方法，在净化剂中，作为有效成份含有氧化亚锡，以及从碱土类金属的氧化物、碱土类金属的氢氧化物、碱土类金属的碳酸盐、镧系元素的氧化物、镧系元素的氢氧化物、镧系元素的碳酸盐中选出的1种以上的化合物，在净化方法中，使含有氮氟化物的气体在加热下与上述净化剂接触而进行净化。该净化剂可容易地进行其保存、使用，在净化中不发生由于稀释气体的种类引起热击穿、或者在净化后的后处理中的剧烈的放热和有害气体的生成等，另外，在净化中，在净化筒内不会发生压力损失的增加或者闭塞，进而，不排出NO<SUB>x</SUB>，可高效地净化含有氮氟化物的气体。 | ||
| 申请公布号 | CN1299804C | 申请公布日期 | 2007.02.14 |
| 申请号 | CN03137362.3 | 申请日期 | 2003.06.19 |
| 申请人 | 日本派欧尼株式会社 | 发明人 | 大健二;名和洋二 |
| 分类号 | B01D53/68(2006.01);B01J20/06(2006.01);B01J23/14(2006.01);H01L21/302(2006.01) | 主分类号 | B01D53/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1.含有氮氟化物的气体的净化剂，其特征是作为有效成份，含有氧化亚锡，以及从碱土类金属的氧化物、碱土类金属的氢氧化物、碱土类金属的碳酸盐、镧系元素的氧化物、镧系元素的氢氧化物、镧系元素的碳酸盐中选出的1种以上的化合物，其中，有效成份在净化剂中的重量比是70％以上，锡的原子数和、碱土类金属的原子数及镧系元素的原子数的合并原子数的比是1∶0.1～2.0。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||