一种耐高温的晶体退火装置

摘要

本发明属晶体的热处理领域，一种耐高温的晶体退火装置，包括置于带有真空排气口的底盘上，并通过真空密封圈与底盘密封接触设有进、出水口及气压表的钟罩，钟罩体内设包含侧屏蔽筒和上、下热挡板的保温屏蔽装置，钟罩体上设有充气阀和出气阀；置于最内层侧屏蔽筒两侧的发热体采用钨棒制成，发热体通过电极接头紧固于钼电极板上；钼电极板由刚玉绝缘环支撑架支撑，两端紧固于水冷电极杆上；钼电极板上方发热体所包围的空间内，设有晶体退火室；钼电极板下方，刚玉绝缘环支撑架内侧设有隔热板。本发明可大幅度提高掺钛宝石激光晶体的品质因素FOM值，改善高温氧化物晶体的光学质量。

主权项

1、一种耐高温的晶体退火装置，包括置于带有真空排气口的底盘上，并通过真空密封圈与底盘密封接触分别设有进水口和出水口以及气压表的钟罩，所述钟罩体内设有包含侧屏蔽筒、上热挡板和下热挡板的保温屏蔽装置，其特征是所述钟罩体上还设有充气阀和出气阀；设置于最内层侧屏蔽筒两侧的发热体采用钨棒加工制成，所述发热体通过钼电极接头由钼螺帽紧固于钼电极板上；所述钼电极板由刚玉绝缘环支撑架支撑，其两端由耐热钢垫环和耐热钢螺帽紧固于水冷电极杆上；所述钼电极板上方发热体所包围的空间内，设有一晶体退火室；所述钼电极板的下方，刚玉绝缘环支撑架的内侧设置一隔热板。