电子发射器件、使用它的电子源和显示设备及其制造方法

摘要

本发明提供一种电子发射特性的离差很小并且抑制了其电子发射量的“波动”的电子发射器件。该电子发射器件包括衬底和其中包括间隙的导电膜，该衬底配备有包含硅氧化物的第一部分和与第一部分并列设置并具有更高的导热性的第二部分，该导电膜设置在衬底上，其中第一和第二部分具有比导电膜的电阻更高的电阻，该间隙设置在第一部分上。

主权项

1.一种包括衬底和设置在所述衬底上并在其中包括间隙的导电膜的电子发射器件，其中所述衬底至少包括包含硅氧化物的第一部分和与所述第一部分并列设置的第二部分，所述第二部分的导热性比所述第一部分的导热性高，所述第一部分和所述第二部分的电阻比所述导电膜的电阻高，所述导电膜设置在所述第一部分和所述第二部分上，和所述间隙形成在所述第一部分之上。