发明名称
摘要
申请公布号 JP3880189(B2) 申请公布日期 2007.02.14
申请号 JP19980031331 申请日期 1998.02.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/027 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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