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发明名称 MICROWAVE APPLICATOR FOR AN ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号 EP0914496(A4) 申请公布日期 2007.02.14
申请号 EP19970934029 申请日期 1997.07.01
申请人 ASM JAPAN K.K. 发明人 DANDL, RAPHAEL, A.
分类号 C23C16/00;H05H1/46;C23C14/34;C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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