发明名称 |
薄膜导体及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种具有改进粘附力和优良导电性的薄膜导体,一种制造薄膜导体的方法,一种包括薄膜导体的薄膜晶体管(TFT)面板,以及一种制造TFT面板的方法。该薄膜导体包括:粘附层,含有氧化反应金属或硅化反应金属和银;银导电层,形成于粘附层上,以及保护层,形成于所述银导电层上,并含有氧化反应金属和银。 |
申请公布号 |
CN1913146A |
申请公布日期 |
2007.02.14 |
申请号 |
CN200610112109.X |
申请日期 |
2006.08.11 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
赵范锡;李制勋;郑敞午;裵良浩 |
分类号 |
H01L23/532(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/84(2006.01);H01L21/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/532(2006.01) |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
李伟;吴贵明 |
主权项 |
1.一种薄膜导体,包括:粘附层,用于将所述薄膜导体粘附到基板上,所述粘附层含有氧化反应金属或硅化反应金属和银;银导电层,形成于所述粘附层上;以及保护层,形成于所述银导电层上,并含有氧化反应金属和银。 |
地址 |
韩国京畿道 |