发明名称 薄膜导体及其制造方法
摘要 本发明提供了一种具有改进粘附力和优良导电性的薄膜导体,一种制造薄膜导体的方法,一种包括薄膜导体的薄膜晶体管(TFT)面板,以及一种制造TFT面板的方法。该薄膜导体包括:粘附层,含有氧化反应金属或硅化反应金属和银;银导电层,形成于粘附层上,以及保护层,形成于所述银导电层上,并含有氧化反应金属和银。
申请公布号 CN1913146A 申请公布日期 2007.02.14
申请号 CN200610112109.X 申请日期 2006.08.11
申请人 三星电子株式会社 发明人 赵范锡;李制勋;郑敞午;裵良浩
分类号 H01L23/532(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/84(2006.01);H01L21/28(2006.01) 主分类号 H01L23/532(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 李伟;吴贵明
主权项 1.一种薄膜导体,包括:粘附层,用于将所述薄膜导体粘附到基板上,所述粘附层含有氧化反应金属或硅化反应金属和银;银导电层,形成于所述粘附层上;以及保护层,形成于所述银导电层上,并含有氧化反应金属和银。
地址 韩国京畿道
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