一种基于电场合成原理的电容式线位移传感器

摘要

一种基于电场合成原理的电容式线位移传感器，它是利用线位移方向均匀分布极板形成相变电场，通过不同位置的过渡感应耦合电荷至公共电极，实现线位移的测量。上述原理构成的传感器具有以下特征：a.源极板1组、公共极板2布置在同一平面上构成传感器定片；b.感应极板3为导电材料，直接连接外部线位移驱动结构件；c.定片上的源极板1沿线位移方向紧密排列、均匀分布，且各极板面积相等；d.激励源电路、信号处理鉴相电路及信号差分电路是其基本附属电路，集成或组合安装于定片上；e.极板可直接制作在覆铜板上。

主权项

1.一种基于电场合成原理的电容式线位移传感器，源极板(1)沿线位移方向紧密排列、均匀分布，形成源极板组，各源极板(1)面积相等，沿线位移方向连续均匀分布的源极板(1)组数(m)是≥1的整数，每组覆盖测量范围内的特定线位移尺寸区域，源极板(1)组内的极板数(n)是≥3的整数，源极板(1)组与一块公共极板(2)及一块感应动片(3)组成线位移传感器，其特征在于：a.源极板(1)组定片沿线位移方向布置，并与公共极板(2)处于同一基材平面上，直接固定在传感器壳体或待测工件上；b.感应动片(3)为导电材料，其宽度(d)满足条件：a≤d≤w(不计源极板间距)，直接连接线位移驱动结构件。