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发明名称 LASER INTERFEROMETER MIRROR ASSEMBLY
摘要
申请公布号 EP1751622(A2) 申请公布日期 2007.02.14
申请号 EP20050738494 申请日期 2005.05.13
申请人 NANOBEAM LIMITED 发明人 ZHANG, TAO
分类号 G03F7/20;G01B9/02;G02B7/18;G03F7/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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