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发明名称 Film defect inspection method
摘要
申请公布号 EP1043563(B1) 申请公布日期 2007.02.14
申请号 EP20000302972 申请日期 2000.04.07
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 FUJITA, SAYAKA;TAKESAWA, YOICHI;SHIMODA, YOSHIHIDE;MORITA, TATSUHIRO;MATSUO, RIKIYA;SAKAMOTO, MASAYUKI;TORIYAMA, KOICHI
分类号 G01B11/06;G01B11/30;G01N21/84;G01N21/95;G03G5/00 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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