发明名称 High-efficiency piezoelectric single-phase uni-polar ultrasonic actuators with a notched PZT back disc
摘要
申请公布号 EP1519426(B1) 申请公布日期 2007.02.14
申请号 EP20040020207 申请日期 2004.08.25
申请人 CHEN, SWE-KAI 发明人 OUYANG, MIN-SHEN;CHEN, SWE-KAI
分类号 H01L41/09;H01L41/187;H02N2/00 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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